半導体プロセス

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FinFET(フィンフェット)

FinFET(フィンフェット) 英語表記: FinFET (Fin Field-Effect Transistor) 概要 FinFET(フィンフェット)とは、従来の平面的なトランジスタ構造(プレーナ型MOSFET)の限 […]

SOI(エスオーアイ)

SOI(エスオーアイ) 英語表記: SOI (Silicon-on-Insulator) 概要 SOIは、「論理回路とゲート」を構成するトランジスタの性能を飛躍的に向上させるための、革新的な「集積回路と製造技術」の一つで […]

SOI/FinFET

SOI/FinFET 英語表記: SOI/FinFET 概要 SOI/FinFETは、現代の高性能な集積回路(IC)を支えるために不可欠な半導体プロセス技術の総称です。特に、トランジスタの微細化が進み、従来の平面構造(プ […]

プロセスルール

プロセスルール 英語表記: Process Rule 概要 プロセスルールとは、半導体チップの製造において実現可能な、最小の電気的素子(主にトランジスタ)の寸法を示す指標です。これは、ナノメートル(nm)単位で表現される […]

フォトリソグラフィ

フォトリソグラフィ 英語表記: Photolithography 概要 フォトリソグラフィは、「半導体プロセス」において、集積回路(IC)の核となる微細な「論理回路」パターンをシリコンウェハ上に正確に形成するために不可欠 […]