後工程

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ダイシング

ダイシング 英語表記: Dicing 概要 ダイシングとは、半導体製造プロセスの「後工程」において、集積回路が多数形成されたシリコンウェハを、個々の半導体チップ(ダイ)に物理的に切り分ける作業です。前工程でプロセスルール […]

ウエハテスト

ウエハテスト 英語表記: Wafer Test 概要 ウエハテストは、半導体製造プロセスにおける後工程の初期段階で行われる、非常に重要な品質管理のステップです。シリコンウェハ上に大量に形成された個々のLSIチップ(ダイ) […]

CMP(シーエムピー)

CMP(シーエムピー) 英語表記: CMP (Chemical Mechanical Polishing) 概要 CMP(化学機械研磨)は、半導体集積回路(LSI)を製造する「半導体製造プロセス」において、ウェハ表面をナ […]